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數字式四探針測試儀

SZT-2000型數字式四探針測試儀是根據四探針測

試原理研究成功的多用途的綜合測量裝置，它可以

測量棒狀、塊狀半導體材料的電阻率和半導體擴散

層的薄層電阻進行測量，可以從10-6--105Ω—cm全

量程范圍檢測硅的片狀、棒狀材料的電阻、薄層電

阻，是硅材料質量監測的必需儀器。

產品型號：SZT-2000
廠商性質：經銷商
更新時間：2018-10-10
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數字式四探針測試儀

型號：SZT-2000

儀器資料：

SZT-2000型數字式四探針測試儀是根據四探針測

試原理研究成功的多用途的綜合測量裝置，它可以

測量棒狀、塊狀半導體材料的電阻率和半導體擴散

層的薄層電阻進行測量，可以從10-6--105Ω—cm全

量程范圍檢測硅的片狀、棒狀材料的電阻、薄層電

阻，是硅材料質量監測的必需儀器。

儀器為臺式結構，分為電氣箱、測試架兩大部分，

用戶可以根據測試需要安放在一般工作臺或者

工作臺上，測試架由探頭及壓力傳動機構、樣品架

組成，耐磨和使用壽命長的特點。探頭內設有彈簧

壓力裝置，壓力從0—2Kg連續可調，測試架設有手

動和電動兩種裝置供用戶選購。

儀器電氣箱主要由高靈敏的直流數字電壓表和高穩

定的恒流源組成，測量結果由數字直接顯示，儀器

有自校量程，可以方便地對儀器的電氣性能進行校

驗。

儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩定性好、測量

范圍廣、結構緊湊、使用方便等特點，儀器適用于

半導體材料廠、器件廠、科學研究部門、高等院

校，對半導體材料的電阻性能測試及工藝檢測。

儀器主要技術指標：

1．范圍：電阻率10-4—103Ω—cm，可擴展至105

Ω—cm，分辯率為10-6Ω—cm

方塊電阻10-3—103Ω/□

電阻10-6—105Ω

2．可測半導體尺寸：直徑Φ15—150mm

3．測量方式：軸向、斷面均可（手動測試架）

4．數字電壓表（1）量程0.2mV、2mV、20mV、

200mV、2V

（2）測量*.2mV檔±（0.3%讀數+8字）

2mV檔以上±（0.3%讀數+2字）

（3）輸入阻抗0.2mV、2mV擋105Ω

20mV檔以上>108Ω

（4）顯示31/2位數字顯示，0—1999

具有極性和過載自動顯示，小數點、單位自動顯示

5．恒流源：（1）電流輸出：直流電流0—100mA

連續可調，由交流電源供給

（2）量程：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA

五檔

（3）電流誤差：±（0.3%讀數+2字）

6．四探針測試探頭（1）探頭間距：1mm（2）

探針機械游率：±0.3%

（3）探針：Φ0.5mm（4）壓

力：可調

7.測試架：

（1）手動測試架：探頭上升及下降由手動操

作，可以用作軸向和斷面的單晶棒和硅片測試。

（2）電動測試架：探頭的上升和下降由電動操

作，設有自動控制器控制，探頭上升時間1S—99S

可調，探頭下降時間1S—99S可調，壓力恒定可調

（由砝碼來設定）同時設有腳踏控制裝置由腳踏開

關控制探頭上下運動。

8.電流：220V±10%50HZ或60HZ：功率消耗

<35W

9．外形尺寸：電氣箱130×110×400mm

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